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Métrologie

Activité de métrologie

Mesure de rugosité

 Zygo 5500

(interférométrie hétérodyne à 633nm)

z<300 nm crête à crête

fréquences spatiales entre qq mm-1 et qq 100 mm-1

bruit = qq 0,001 nm RMS

Mesure par interférométrie sur une trace circulaire d'1 mm.

Montage mécanique nécessaire pour une surface perpendiculaire au laser.

Plan, concave, convexe, traité ou non.

 

     

    Mesure de rayons de courbure

    Banc de mesure

    par pointé du centre de courbure et d'un sommet par viseur auto-collimateur

    surfaces concaves.

    R < 6 m: incertitude = ± 1,7.10-3 R22 mm

    Caractérisation de surfaces

    Interféromètre de type Fizeau

    Mesures sans contact (ouverture 100 mm)
    Plans, concaves, convexes, non traités
    Référence plane (λ/100)
    Références sphériques (de f/0,75 à f/10,3)

    Caractérisation de surfaces

    Microscope à décalage de phase

    (WYKO NT1100)

     

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